温州硅光硅光电二极管

    技术实现要素：本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法，在不影响光电二极管响应度的前提下，解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题，实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现：一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极的衬底；衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极；所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区；所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率～～；高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔，或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时，孔直径为10～50um，孔间距为15～50um，圆形孔的总面积为结面积的1/2；所述的刻蚀孔为同心环形孔时，同心环中心与正面金属电极的中心重合，同心环中心为刻蚀区，相邻环间距5～20um。所述的外延层淀积在高反层上；在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。硅光电二极管谁做的好，世华高！温州硅光硅光电二极管

    世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。高反层109由高折射率薄膜与低折射率薄膜交替叠加组成；2)利用等离子刻蚀机在高反层109上以干法刻蚀开设刻蚀孔，并刻蚀掉与正面金属电极106相对的高反层109；3)刻蚀完成后，在高反层109上以化学气相淀积的方法生长电阻率500～1000ohm·cm的n-外延层，其厚度与耗尽区宽度相当；4)在外延层101上以as离子源进行n型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成保护环102。与保护环102间距12～20um，在外延层101上以b离子源进行p型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成有源区103；5)在保护环102和有源区103上通过热氧化法生成sio2层104，在sio2层上方淀积生长si3n4层105；6)接连刻穿si3n4层和sio2层形成接触孔，然后溅射al，并将溅射层刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107背面直接进行金属化处理形成背面电极108。下面给出具体的实施例。实施例11)在n+重掺杂的衬底107上溅射生成厚度3～5um的高反层109，2)利用等离子刻蚀机干法刻蚀工艺在高反层109刻孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长n-外延层101。武汉国产硅光电二极管二极管世华高硅光电二极管，让你享受简单而强大的智能体验。

    将上述sr掺杂batio3/znte工作电极放入光电化学反应器内，与铂片对电极组装成两电极体系，将该电极在+，所用溶液为碳酸丙烯酯，用去离子水清洗后，将光电极在真空条件下50℃干燥10h。之后，采用上海辰华chi660e电化学工作站，将极化后的sr掺杂batio3/znte工作电极和饱与铂片对电极、饱和甘汞电极组装成典型的三电极体系，电解质溶液为。光电流测试前，往电解质溶液中鼓co2半个小时，使溶液中的氧气排尽，co2浓度达到饱和。图4为本实施例制备的sr掺杂batio3/znte工作电极和水热法制备的znte薄膜电极在。由图可知，单独的znte光电催化难以产生co产物，说明znte光阴极的大部分载流子不能与co2发生相互作用，导致界面载流子严重复合，co产生量很低。但是，sr掺杂batio3/znte工作电极的co产量明显增加，说明sr掺杂batio3增加了znte表面的载流子浓度，间接证实了sr掺杂batio3的载流子分离作用。

    本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。硅光电二极管厂家就找世华高。

    2CU­3­型管子二条引线中较长一根是“＋”极。2CU型硅光电二极管使用时电原理图见图⑤（b）。图中E为反向工作电压的电源，R­L­是负载电阻，电信号就从它的两端输出。当无光照时，R­L­两端的电压很小；当有光照时，R­L­两端的电压增高，R­L­两端电压大小随光照强弱作相应的变化，这样就将光信号变成了电信号。图⑥所示是实际应用中的简单的光电控制线路。其中图⑥（a）是亮通的光控线路。图中2CU管是光电接收元件，三极管BG­1­和BG­2­直接耦合组成一级射极跟随器。“J”表示继电器，它的型号是JRXB－1型。图中D­1­是2CP­10­型二极管，它的作用是保护BG­2­三极管的。当有光照射到光电管上时，光电管内阻变小，因此使通过2CU、R­1­、R­2­的电流变大则R­2­两端的电压增大，使BG­1­导通。BG­1­发射极电流大部分流入BG­2­基极，使BG­2­导通并饱和，这样继电器线圈中流过较大的电流，使继电器触点吸合；当无光照时2CU内阻增大，通过2CU、R­1­、R­2­的电流很小，因此R­2­两端电压很小，使BG­1­截止。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳。硅光电二极管特性给您带来智能体验。深圳硅pin硅光电二极管品牌

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    所述下固定板的进气管通过耐高温传输管道与氮气充气泵的充气端固定连通，所述卡槽底端的一侧与熔深检测仪的检测端穿插连接。作为本实用新型的一种技术方案，所述石英玻璃罩、上固定板和下固定板的外壁均固定设有隔热层，三个所述隔热层均由多层镀铝薄膜制成。作为本实用新型的一种技术方案，所述下固定板进气管的一侧固定设有氮气电磁阀。作为本实用新型的一种技术方案，所述卡槽底端的另一侧与温度检测仪的检测端穿插连接。作为本实用新型的一种技术方案，所述上固定板的一侧设有控制面板。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。温州硅光硅光电二极管